O revestimento ao baleiro amplía a vida útil dos consumibles na industria de semicondutores e reduce o tempo de inactividade da cámara.Os materiais de revestimento van desde a sílice fundida ata o zirconio estabilizado con itria, e os revestimentos son ópticamente claros e químicamente inertes.Todo isto supón un menor custo de propiedade ao sincronizar os ciclos de mantemento.
Hora de publicación: 16-Xun-2022